A Study of the Intermediate Layer in 3C-SiC/6H-SiC...

Materials Science Forum 2014 / 2 Vol. 778-780

A Study of the Intermediate Layer in 3C-SiC/6H-SiC Heterostructures

Lebedev, Alexander A., Zamoryanskaya, Maria V., Davydov, Sergey Yu., Kirilenko, Demid A., Lebedev, Sergey P., Sorokin, Lev M., Shustov, Denis B., Shcheglov, Mikhail P.
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Volume:
778-780
Langue:
english
Journal:
Materials Science Forum
DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.247
Date:
February, 2014
Fichier:
PDF, 1.66 MB
english, 2014
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