Effective reduction of fixed charge densities in germanium...

Applied Physics Letters 2011 Vol. 99; Iss. 5

Effective reduction of fixed charge densities in germanium based metal-oxide-semiconductor devices

Deng, Shaoren, Xie, Qi, Deduytsche, Davy, Schaekers, Marc, Lin, Dennis, Caymax, Matty, Delabie, Annelies, Van den Berghe, Sven, Qu, Xinping, Detavernier, Christophe
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Volume:
99
Année:
2011
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.3622649
Fichier:
PDF, 642 KB
english, 2011
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