Depth resolution improvement in secondary ion mass...

Applied Physics Letters 2006 Vol. 89; Iss. 5

Depth resolution improvement in secondary ion mass spectrometry analysis using metal cluster complex ion bombardment

Tomita, M., Kinno, T., Koike, M., Tanaka, H., Takeno, S., Fujiwara, Y., Kondou, K., Teranishi, Y., Nonaka, H., Fujimoto, T., Kurokawa, A., Ichimura, S.
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Volume:
89
Année:
2006
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.2266995
Fichier:
PDF, 318 KB
english, 2006
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