Surface-micromachined epitaxial silicon cantilevers as...

Surface-micromachined epitaxial silicon cantilevers as movable optical waveguides on silicon-on-insulator substrates

Terry T.H. Eng, Sidney C. Kan, George K.L. Wong
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Volume:
49
Année:
1995
Pages:
5
DOI:
10.1016/0924-4247(96)80026-4
Fichier:
PDF, 546 KB
1995
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