Anisotropic etching for optical gratings

Sensors and Actuators A: Physical 1995 Vol. 51; Iss. 1

Anisotropic etching for optical gratings

A. Klumpp, K. Kühl, U. Schaber, H.U. Käufl, W. Lang
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Volume:
51
Année:
1995
Pages:
4
DOI:
10.1016/0924-4247(95)01074-2
Fichier:
PDF, 623 KB
1995
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