High temperature pressure sensor using double SOIstructure...

Sensors and Actuators A: Physical 1994 Vol. 43; Iss. 1-3

High temperature pressure sensor using double SOIstructure with two Al2O3 films

Young-Tae Lee, Heedon Seo, Makoto Ishida, Shoji Kawahito, Tetsuro Nakamura
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Volume:
43
Année:
1994
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/0924-4247(94)80001-4
Fichier:
PDF, 825 KB
english, 1994
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