Characterization of tantalum oxynitride thin films as high-temperature strain gauges
I. Ayerdi, E. Castaño, A. García-Alonso, F.J. GraciaVolume:
46
Année:
1995
Pages:
4
DOI:
10.1016/0924-4247(94)00893-m
Fichier:
PDF, 269 KB
1995