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Rapid thermal annealing of Be+-implanted In0.52Al0.48As

Journal of Applied Physics 1987 Vol. 61; Iss. 12

Rapid thermal annealing of Be+-implanted In0.52Al0.48As

Lee, Wai, Fonstad, Clifton G.
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Volume:
61
Année:
1987
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.338262
Fichier:
PDF, 989 KB
english, 1987
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