Selective wet etching of a GaAsAlxGa1−xAs heterostructure...

Selective wet etching of a GaAsAlxGa1−xAs heterostructure with citric acid-hydrogen peroxide solutions for pseudomorphic GaAs/AlxGa1−xAs/InyGa1−yAs heterojunction field effect transister fabrication

H.J. Lee, M.S. Tse, K. Radhakrishnan, K. Prasad, J. Weng, S.F. Yoon, X. Zhou, H.S. Tan, S.K. Ting, Y.C. Leong

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Volume:

Année:

1995

Langue:

english

Pages:

DOI:

10.1016/0921-5107(95)01414-4

Fichier:

PDF, 300 KB

english, 1995

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