Laser-driven boron diffusion into a Si epitaxial layer from...

Applied Physics Letters 1992 Vol. 61; Iss. 9

Laser-driven boron diffusion into a Si epitaxial layer from a p+ boron-doped Si substrate

Kim, K. M., Mei, S. N., Saccamango, M. J., Chu, S. F., von Gutfeld, R. J., Vigliotti, D. R.
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
61
Année:
1992
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.107718
Fichier:
PDF, 620 KB
english, 1992
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué