Ion beam milling of InP with an Ar/O2-gas mixture

Applied Physics Letters 1984 Vol. 44; Iss. 3

Ion beam milling of InP with an Ar/O2-gas mixture

Katzschner, W., Steckenborn, A., Löffler, R., Grote, N.
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Volume:
44
Année:
1984
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.94725
Fichier:
PDF, 420 KB
english, 1984
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