Dual-Stage Nanopositioning for High-Speed Scanning Probe...

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2014 / 06 Vol. 19; Iss. 3

Dual-Stage Nanopositioning for High-Speed Scanning Probe Microscopy

Tuma, Tomas, Haeberle, Walter, Rothuizen, Hugo, Lygeros, John, Pantazi, Angeliki, Sebastian, Abu
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Volume:
19
Langue:
english
Journal:
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics
DOI:
10.1109/tmech.2013.2266481
Date:
June, 2014
Fichier:
PDF, 1.07 MB
english, 2014
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