Reduction of Sheet Resistance and Low-Thermal-Budget...

Reduction of Sheet Resistance and Low-Thermal-Budget Relaxation of Stress Gradients in Polysilicon Microcantilever Beams Using Nickel-Silicides

Kang, Tae June, Lee, Ho-Young, Kim, Yong Hyup
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2007.892898
Date:
April, 2007
Fichier:
PDF, 2.88 MB
english, 2007
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