Interface reactions in ZrO[sub 2] based gate dielectric...

Interface reactions in ZrO[sub 2] based gate dielectric stacks

M. A. Gribelyuk, A. Callegari, E. P. Gusev, M. Copel, D. A. Buchanan

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Année:

2002

Langue:

english

DOI:

10.1063/1.1486036

Fichier:

PDF, 1.08 MB

english, 2002

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