The influence of surface properties on the plasma dynamics...

Applied Physics Letters 2013 / 12 Vol. 103; Iss. 24

The influence of surface properties on the plasma dynamics in radio-frequency driven oxygen plasmas: Measurements and simulations

Greb, Arthur, Niemi, Kari, O'Connell, Deborah, Gans, Timo
Avez-vous aimé ce livre?
Quelle est la qualité du fichier téléchargé?
Veuillez télécharger le livre pour apprécier sa qualité
Quelle est la qualité des fichiers téléchargés?
Volume:
103
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.4841675
Date:
December, 2013
Fichier:
PDF, 952 KB
english, 2013
La conversion en est effectuée
La conversion en a échoué