THE NEURAL NETWORK IMPLEMENTATION IN PATTERN RECOGNITION OF...

Journal of the Chinese Institute of Industrial Engineers 2006 / 01 Vol. 23; Iss. 4

THE NEURAL NETWORK IMPLEMENTATION IN PATTERN RECOGNITION OF SEMICONDUCTOR ETCHING PROCESS

Chen, Wen-Chin, Chen, Chen-Tai, Tsai, Chih-Hung, Ho, Tsung-Hsuan
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Volume:
23
Langue:
english
Journal:
Journal of the Chinese Institute of Industrial Engineers
DOI:
10.1080/10170660609509323
Date:
January, 2006
Fichier:
PDF, 781 KB
english, 2006
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