Fully Self-Consistent 3-D Modeling of Inductively Coupled...

IEEE Transactions on Plasma Science 2014 / 10 Vol. 42; Iss. 10

Fully Self-Consistent 3-D Modeling of Inductively Coupled Plasmas

Agarwal, Ankur, Kenney, Jason A., Rauf, Shahid, Collins, Ken
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Volume:
42
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Plasma Science
DOI:
10.1109/TPS.2014.2336881
Date:
October, 2014
Fichier:
PDF, 614 KB
english, 2014
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