[IEEE 2000 IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings. 38th Annual - San Jose, CA, USA (10-13 April 2000)] 2000 IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings. 38th Annual (Cat. No.00CH37059) - Experimental analysis of gate oxide degradation-existence of neutral trap precursor, single and multiple trap-assisted-tunneling for SILC mechanism

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