Precise Grating Profile Evaluation for DFB Lasers Using an...

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2007 / 08 Vol. 20; Iss. 3

Precise Grating Profile Evaluation for DFB Lasers Using an Optical Metrology

Muroya, Yoshiharu, Makino, Shingo, Umeda, Naoki, Okuda, Tetsuro, Ishikawa, Shin, Komatsu, Keiro
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Volume:
20
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
DOI:
10.1109/tsm.2007.901402
Date:
August, 2007
Fichier:
PDF, 1.10 MB
english, 2007
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