Vacancy Generation by Laser Preirradiation for Junction...

IEEE Electron Device Letters 2009 / 12 Vol. 30; Iss. 12

Vacancy Generation by Laser Preirradiation for Junction Leakage Suppression

Xueming Tan, D., Kuang Kian Ong,, Kin-Leong Pey,, Xincai Wang,, Guo-Qiang Lo,, Chee Mang Ng,, Lap Chan,, Hong Yu Zheng,
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Volume:
30
Langue:
english
Journal:
IEEE Electron Device Letters
DOI:
10.1109/led.2009.2032567
Date:
December, 2009
Fichier:
PDF, 272 KB
english, 2009
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