Controlled dust formation in pulsed rf plasmas

Journal of Applied Physics 2009 Vol. 106; Iss. 6

Controlled dust formation in pulsed rf plasmas

Berndt, J., Kovačević, E., Stefanović, I., Boufendi, L.
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Volume:
106
Année:
2009
Langue:
english
Journal:
Journal of Applied Physics
DOI:
10.1063/1.3224874
Fichier:
PDF, 1.30 MB
english, 2009
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