Real-Time Carbon Content Control for PECVD...

IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2004 / 05 Vol. 17; Iss. 2

Real-Time Carbon Content Control for PECVD ZrO<tex>$_2$</tex>Thin-Film Growth

Ni, D., Lou, Y., Christofides, P.D., Sha, L., Lao, S., Chang, J.P.
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Volume:
17
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
DOI:
10.1109/tsm.2004.826939
Date:
May, 2004
Fichier:
PDF, 501 KB
english, 2004
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