Basic mechanisms for hillock formation during etching

Physica A: Statistical Mechanics and its Applications 2008 Vol. 387; Iss. 8-9

Basic mechanisms for hillock formation during etching

D.A. Mirabella, M.P. Suárez, C.M. Aldao
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Volume:
387
Année:
2008
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.physa.2007.11.028
Fichier:
PDF, 442 KB
english, 2008
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