Epitaxial layer transfer by bond and etch back of porous Si

Applied Physics Letters 1994 Vol. 64; Iss. 16

Epitaxial layer transfer by bond and etch back of porous Si

Yonehara, Takao, Sakaguchi, Kiyofumi, Sato, Nobuhiko
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Volume:
64
Année:
1994
Langue:
english
Journal:
Applied Physics Letters
DOI:
10.1063/1.111698
Fichier:
PDF, 710 KB
english, 1994
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