Ultrathick and High-Aspect-Ratio Nickel Microgyroscope...

Journal of Microelectromechanical Systems 2007 / 10 Vol. 16; Iss. 5

Ultrathick and High-Aspect-Ratio Nickel Microgyroscope Using EFAB Multilayer Additive Electroforming

Alper, S.E., Ocak, I.E., Akin, T.
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Volume:
16
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2007.902431
Date:
October, 2007
Fichier:
PDF, 1.72 MB
english, 2007
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