A Wet Etching Technique to Reveal Threading Dislocations in...

Solid State Phenomena 2008 Vol. 134

A Wet Etching Technique to Reveal Threading Dislocations in Thin Germanium Layers

Souriau, Laurent, Terzieva, V., Meuris, Marc, Caymax, Matty
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Volume:
134
Année:
2008
Langue:
english
Journal:
Solid State Phenomena
DOI:
10.4028/www.scientific.net/ssp.134.83
Fichier:
PDF, 419 KB
english, 2008
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