Nondestructive evaluation of as-implanted and annealed...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2005 Vol. 237; Iss. 1-2

Nondestructive evaluation of as-implanted and annealed ultra shallow junctions by photothermal and photoluminescence heterodyne techniques

H.D. Geiler, H. Karge, M. Wagner, W. Lerch, S. Paul
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Volume:
237
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.nimb.2005.04.074
Fichier:
PDF, 150 KB
english, 2005
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