The effect of microrelief evolution on the angular...

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 2005 Vol. 230; Iss. 1-4

The effect of microrelief evolution on the angular dependence of polycrystalline Cu sputtering yield

N.N. Andrianova, A.M. Borisov, E.S. Mashkova, A.S. Nemov, V.I. Shulga
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Volume:
230
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.nimb.2004.12.105
Fichier:
PDF, 185 KB
english, 2005
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