Fused-Silica Micro Birdbath Resonator Gyroscope ($\mu$-BRG)

Journal of Microelectromechanical Systems 2014 / 02 Vol. 23; Iss. 1

Fused-Silica Micro Birdbath Resonator Gyroscope ($\mu$-BRG)

Cho, Jae Yoong, Woo, Jong-Kwan, Yan, Jialiang, Peterson, Rebecca L., Najafi, Khalil
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Volume:
23
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2013.2291534
Date:
February, 2014
Fichier:
PDF, 1.98 MB
english, 2014
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