Amorphization kinetics of germanium under ion implantation
S. Koffel, A. Claverie, G. BenAssayag, P. ScheiblinVolume:
9
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mssp.2006.08.015
Fichier:
PDF, 226 KB
english, 2006