Corrigendum to ‘‘Changes in elastic deformation of strained...

Materials Science in Semiconductor Processing 2005 Vol. 8; Iss. 6

Corrigendum to ‘‘Changes in elastic deformation of strained si by microfabrication’’: [Materials Science in Semiconductor Processing 8 (2005) 181–185]

Keisuke Arimoto, Daisuke Furukawa, Junji Yamanaka, Kiyokazu Nakagawa, Kentarou Sawano, Shinji Koh, Yasuhiro Shiraki, Noritaka Usami
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Volume:
8
Année:
2005
Langue:
english
DOI:
10.1016/j.mssp.2006.04.002
Fichier:
PDF, 60 KB
english, 2005
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