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Japanese Journal of Applied Physics 1994 / 9 Vol. 33; Iss. Part 1, No

Dielectric Properties of ( B a x S r 1- x ) T i O 3 Thin Films Prepared by RF Sputtering for Dynamic Random Access Memory Application

Kuroiwa, Takeharu, Tsunemine, Yoshikazu, Horikawa, Tsuyoshi, Makita, Tetsuro, Tanimura, Jyunji, Mikami, Noboru, Sato, Kazunao
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Volume:
33
Journal:
Japanese Journal of Applied Physics
DOI:
10.1143/JJAP.33.5187
Date:
September, 1994
Fichier:
PDF, 1.04 MB
1994
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