Extraction of elastic–plastic material properties of thin...

Microelectronics Reliability 2011 Vol. 51; Iss. 6

Extraction of elastic–plastic material properties of thin films through nanoindentaion technique with support of numerical methods

Łukasz Dowhań, Artur Wymysłowski, Paweł Janus, Magdalena Ekwińska, Olaf Wittler
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Volume:
51
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
8
DOI:
10.1016/j.microrel.2011.03.009
Fichier:
PDF, 2.06 MB
english, 2011
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