Ion projection direct structuring for patterning of magnetic media
Dietzel, A., Berger, R., Grimm, H., Bruenger, W.H., Dzionk, C., Letzkus, F., Springer, R., Loeschner, H., Platzgummer, E., Stengl, G., Bandic, Z.Z., Terris, B.D.Volume:
38
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Magnetics
DOI:
10.1109/tmag.2002.802846
Date:
September, 2002
Fichier:
PDF, 196 KB
english, 2002