Selective etching of dislocations in GaN and quantitative...

Micron 2009 Vol. 40; Iss. 1

Selective etching of dislocations in GaN and quantitative SEM analysis with shape-reconstruction method

M. Wzorek, A. Czerwinski, J. Ratajczak, R. Dylewicz, J. Kątcki
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Volume:
40
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.micron.2008.02.012
Fichier:
PDF, 580 KB
english, 2009
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