Nanosculpture: Three-dimensional CMOS device structures for...

Microelectronics Journal 2009 Vol. 40; Iss. 4-5

Nanosculpture: Three-dimensional CMOS device structures for the ULSI era

Byung-Gook Park, Jae Young Song, Jong Pil Kim, Hoon Jeong, Jung Hoon Lee, Seongjae Cho
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Volume:
40
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mejo.2008.11.011
Fichier:
PDF, 820 KB
english, 2009
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