Study on silicon surface oxidation of post-implant resist...

Study on silicon surface oxidation of post-implant resist cleaning

Keping Han, Carlo Waldfried, Skip Berry
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Volume:
86
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.mee.2008.09.049
Fichier:
PDF, 245 KB
english, 2009
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