AFM characterization of anti-sticking layers used in...

Microelectronic Engineering 2006 Vol. 83; Iss. 4-9

AFM characterization of anti-sticking layers used in nanoimprint

J. Tallal, M. Gordon, K. Berton, A.L. Charley, D. Peyrade
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Volume:
83
Année:
2006
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2006.01.011
Fichier:
PDF, 209 KB
english, 2006
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