Work function controllability of metal gates made by...

Microelectronic Engineering 2005 Vol. 80; Iss. none

Work function controllability of metal gates made by interdiffusing metal stacks with low and high work functions

T. Matsukawa, Y.X. Liu, M. Masahara, K. Ishii, K. Endo, H. Yamauchi, E. Sugimata, H. Takashima, T. Higashino, E. Suzuki, S. Kanemaru
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Volume:
80
Année:
2005
Langue:
english
Pages:
4
DOI:
10.1016/j.mee.2005.04.034
Fichier:
PDF, 714 KB
english, 2005
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