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Thermal hysteresis analysis of MEMS pressure sensors

Journal of Microelectromechanical Systems 2005 / 08 Vol. 14; Iss. 4

Thermal hysteresis analysis of MEMS pressure sensors

Chiou, J.A., Chen, S.
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Volume:
14
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2005.845460
Date:
August, 2005
Fichier:
PDF, 936 KB
english, 2005
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