Synthesis of c-axis-oriented AlN thin films on...

IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 2005 / 07 Vol. 52; Iss. 7

Synthesis of c-axis-oriented AlN thin films on high-conducting layers: Al, Mo, Ti, TiN, and Ni

Iriarte, G.F., Bjurstrom, J., Westlinder, J., Engelmark, F., Katardjiev, I.V.
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Volume:
52
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
DOI:
10.1109/tuffc.2005.1504003
Date:
July, 2005
Fichier:
PDF, 515 KB
english, 2005
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