High-frequency gratings for applications to microoptical...

Optik - International Journal for Light and Electron Optics 2009 Vol. 120; Iss. 4

High-frequency gratings for applications to microoptical ellipsometer/polarimeter systems

Daniel Dias, Svetomir Stankovic, Mathias Hain, Theo Tschudi, Till Rauch, Dietrich Drews, Michael Abraham, Wolfgang Pilz, Ralf Steingrüber
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Volume:
120
Année:
2009
Langue:
english
Pages:
5
DOI:
10.1016/j.ijleo.2006.02.010
Fichier:
PDF, 417 KB
english, 2009
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