[IEEE 2009 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems - Shenzhen, China (2009.01.5-2009.01.8)] 2009 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems - Characterization of Si3N4/SiC Microstructure Derived from UV curable polymer ceramic precursor pyrolyzing

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