Monolithic Integration of Silicon Nanowires With a...

Journal of Microelectromechanical Systems 2009 / 12 Vol. 18; Iss. 6

Monolithic Integration of Silicon Nanowires With a Microgripper

Ozsun, O., Alaca, B.E., Leblebici, Y., Yalcinkaya, A.D., Yildiz, I., Yilmaz, M., Zervas, M.
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Volume:
18
Langue:
english
Journal:
Journal of Microelectromechanical Systems
DOI:
10.1109/jmems.2009.2034340
Date:
December, 2009
Fichier:
PDF, 1.08 MB
english, 2009
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