Application of Silicon on Nothing Structure for Developing...

IEEE Sensors Journal 2014 / 03 Vol. 14; Iss. 3

Application of Silicon on Nothing Structure for Developing a Novel Capacitive Absolute Pressure Sensor

Hao, Xiuchun, Tanaka, Sinya, Masuda, Atsuhiko, Nakamura, Jun, Sudoh, Koichi, Maenaka, Kazusuke, Takao, Hidekuni, Higuchi, Kohei
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Volume:
14
Langue:
english
Journal:
IEEE Sensors Journal
DOI:
10.1109/jsen.2013.2288681
Date:
March, 2014
Fichier:
PDF, 1.80 MB
english, 2014
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