Fluorinated aminoalkoxide CuII complexes: new CVD...

Journal of Materials Chemistry 2002 / 11 Vol. 12; Iss. 12

Fluorinated aminoalkoxide CuII complexes: new CVD precursors for deposition of copper metal

Chi, Yun, Hsu, Peng-Fu, Liu, Chao-Shiuan, Ching, Wei-Li, Chou, Tsung-Yi, Carty, Arthur J., Peng, Shie-Ming, Lee, Gene-Hsiang, Chuang, Shiow-Huey
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Volume:
12
Langue:
english
Journal:
Journal of Materials Chemistry
DOI:
10.1039/b205419a
Date:
November, 2002
Fichier:
PDF, 435 KB
english, 2002
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