Wavelet-coupled backpropagation neural network as a chamber...

Expert Systems with Applications 2011 Vol. 38; Iss. 5

Wavelet-coupled backpropagation neural network as a chamber leak detector of plasma processing equipment

Byungwhan Kim, Sanghee Kwon
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Volume:
38
Année:
2011
Langue:
english
Pages:
6
DOI:
10.1016/j.eswa.2010.11.088
Fichier:
PDF, 864 KB
english, 2011
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