A stator for a self-running, ultrasonically-levitated...

IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control 2007 / 11 Vol. 54; Iss. 11

A stator for a self-running, ultrasonically-levitated sliding stage

Koyama, D., Nakamura, K., Ueha, S.
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Volume:
54
Langue:
english
Journal:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
DOI:
10.1109/tuffc.2007.538
Date:
November, 2007
Fichier:
PDF, 995 KB
english, 2007
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