Origins of Effective Work Function Roll-Off Behavior for...

IEEE Electron Device Letters 2013 / 06 Vol. 34; Iss. 6

Origins of Effective Work Function Roll-Off Behavior for High-κ Last Replacement Metal Gate Stacks

Ando, Takashi, Cartier, Eduard A., Bruley, John, Choi, Kisik, Narayanan, Vijay
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Volume:
34
Langue:
english
Journal:
IEEE Electron Device Letters
DOI:
10.1109/LED.2013.2259136
Date:
June, 2013
Fichier:
PDF, 532 KB
english, 2013
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