Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum...

Langmuir 2008 / 10 Vol. 24; Iss. 20

Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum Pressure: Alkyl Monolayer Lithography

Khatri, Om P., Sano, Hikaru, Murase, Kuniaki, Sugimura, Hiroyuki
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Volume:
24
Langue:
english
Journal:
Langmuir
DOI:
10.1021/la8021613
Date:
October, 2008
Fichier:
PDF, 944 KB
english, 2008
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